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智能溅射离子泵电源控制器

    溅射离子泵（Sputter-ion pump）由于其清洁无油、对多种气体的抽气能力、以及不怕震动和易于维护，是目前超高真空获得系统中使用最广泛的一种真空泵，广泛应用于分析仪器、材料研究、加速器、光束线、储存环、空间环境模拟、镀膜技术以及其它要求无污染的环境。溅射离子泵的工作原理是利用电磁场的作用产生潘宁放电，使气体分子电离，利用电离产生的离子轰击并溅射阴极板（钛板），使电离了的气体分子收附于其中或利用溅射的吸气剂膜层（钛膜）来抽气。

    几十年的溅射离子泵的发展过程中，近十年来国外变化最大的是离子泵电源控制器，主要表现在采用高频开关电源代替50Hz功频电源，以及电源的智能化和数字化。

    本产品按目前国际行业标准提供了一种基于开关电源方式的智能溅射离子泵电源控制器（国家专利：00112595.8、00240529.6），全面使用开关电源替代过去的功频电源，重量轻、体积小、输入电压范围宽、高效节能。

    主要特点：体积小、重量轻、智能化，使用界面友好；RS232微机通讯接口，便于联网控制；输入电压范围宽，开关电源，高效节能；电磁兼容性及安全防护符合国际标准。
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