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先进制造
用于加工、医疗、科研用途的准分子激光器技术
 
技术特点：
    准分子激光器作为紫外激光光源，输出能量大、平均功率稳定、工作寿命长。在光刻（如半导体光刻、PCB激光投影成像加工等）、精细加工（如微纳结构加工、光纤光栅制作、激光打标等）、材料处理（如液晶显示平板退火、集成芯片退火等）、激光医疗（如眼角膜屈光度矫正、皮肤病治疗等）、科研（如材料制备、光谱技术、激光探测等）以及军工等领域有着广泛的应用。

    本项目组从80年代即开始进行准分子激光器的研制，实用化准分子激光器的研制成果多次获中科院科技进步二等奖和三等奖。曾多次承担了中科院准分子激光器的攻关课题，目前还承担了国家重大科技项目中的准分子光源部分的研究课题。项目单位中科院安徽光学精密机械研究所是国内最早从事准分子激光器研制的单位之一，也是目前国内唯一一家能够提供准分子激光器产品的单位。我们掌握了准分子激光器从激光电源到激光放电腔的整体核心技术，能够根据不同需求研制各型实用准分子激光器件。
 
主要指标：
准分子激光技术指标如下：
A、输出激光波长 ArF/193nm  KrF/248nm  XeCl/308nm  XeF/351nm；
B、输出能量 1～500mJ；
C、脉冲频率 1～300Hz可调；
D、输出功率：5～100W
E、脉宽：～25ns；
F、光束发散角：3～5mrad。
 
应用状况：
    据测算，准分子激光器市场份额在2008年的全球激光材料加工市场中占19%（来源Optec Consulting），近5亿欧元。

    目前国内准分子激光器多用于医疗和科研，尤其眼科近视治疗仪、激光脉冲沉积（PLD）等应用领域具有广泛市场。

    近年来，光刻、精细加工、材料处理等领域应用不断增加，而准分子激光器几乎全部来自进口。作为国内唯一掌握准分子激光器综合技术和有能力提供准分子激光器产品的单位，由于我们长期的科研模式的运行，没有相应的市场和商业运行模式，每年只能生产少量产品提供市场。现在，我们开始寻求与相关部门和企业合作，希望通过合作，推出在激光加工、激光医疗、科研设备等领域的准分子激光器产品，实现规模化生产，有效降低成本，增大国内市场占有率乃至今后走向国际市场。

    本项目现已集聚了由2名多年从事准分子激光技术且具有相应的机械、电子学、自动控制、激光技术背景的专家和十几名博士、硕士研究生组成的技术团队，拥有准分子激光器实验室和开发平台，可根据客户的具体需求，研制不同规格用途的准分子激光器。

产品附图：
中型准分子激光器
 
    中型准分子激光器可用于材料制备、激光探测、PCB激光投影成像加工、微纳结构加工等；

    小型准分子激光器可用于眼角膜屈光度矫正、皮肤病治疗、光纤光栅制作、激光打标、光谱技术等。






 
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