成果简介: 技术特点:采用泡生法工艺,生长周期短,晶体质量高,产量大。 主要指标: 1) 泡生法生长的10英寸蓝宝石晶体:Φ250mm,~28kg; 2) 坩埚下降法生长的5英寸蓝宝石晶体:Φ120mm,~6kg。 应用状况: 蓝宝石(Al2O3)晶体已经成为现代工业,尤其是微电子及光电子产业极为重要的基础材料。目前,Al2O3晶体是唯一最实用、已商品化的GaN基LED外延衬底材料。 拥有的专利:200810200911.3 ,200920076795.9等 ![]() ![]()
泡生法生长的10英寸蓝宝石晶体 坩埚下降法生长的5英寸蓝宝石晶体
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