等离子体浸没离子注入机-先进制造-中北国技（北京）科技有限公司 - 国家技术转移示范机构|中科院技术转移平台

先进制造

等离子体浸没离子注入机

技术特点：
等离子体浸没离子注入技术是一项新的材料表面改性技术，其主要用于绝缘衬底上的硅（SOI）和超浅结（USL）的制造。其与传统束线离子注入相比有设备简单、成本低；可同时实现大面积注入，掺杂效率高；可实现三维复杂结构工件掺杂；掺杂能量无理论限制，能实现超低能离子掺杂。

主要指标：
1. 注入结深：≤5nm @（100eV，）；
2. 能量精度：±2%；
3. 注入剂量均匀性和重复性：±3%。

应用状况：
用等离子体浸没离子注入技术可获得高均匀性的超浅结、黑硅等。该技术目前已在COMS器件超浅结制造等半导体领域、太阳能电池光伏领域、医用骨头改性等生物医学领域等广泛应用。