项目简介 本系统引入高压脉冲辉光放电技术,将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结合,可研究开发单层及多层功能膜,如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新兴薄膜材料。TiN、TiC、TiCN、TiAIN等硬质薄膜已经在工具、磨具、装饰等行业得到日益广泛的应用,类金刚石碳(DLC)膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜,在机械、电子、光学以及医学等方面有广阔的应用前景。 多功能复合离子镀设备 功能:真空阴极弧离子镀、中频磁控溅射离子镀、高压脉冲辉光放电 市场需求 机械行业——减震器、燃料喷射泵、齿轮、轴承、纲领、活塞、活塞环等 加工行业——硬质合金刀具、精密模具、精密加工用锯等 生物医用——血管支架、心脏瓣膜、髋膝关节、外科手术用锯等 光学行业应用——红外窗口、硅太阳能电池等 电子行业——硬盘、磁头、光盘等存储介质、场发射显示器等 |