URE系列光刻机-电子信息-中北国技（北京）科技有限公司 - 国家技术转移示范机构|中科院技术转移平台

电子信息

URE系列光刻机

用途：
本系列产品适合高等院校、研究机构从事微电子技术、MEMS、声表器件、红外探测器、液晶等领域的科研、教学，以及生产企业用于小批量生产。

技术特征：
采用直流高压汞灯（光能稳定性很高，汞灯寿命长）、双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关操作等。具有较高的技术性能，而又实现较合理的价格比。具有体积小、外型美观、性能可靠、操作方便、经济实用性强等特点。