SE-3型太阳能电池刻蚀机-先进制造-中北国技（北京）科技有限公司 - 国家技术转移示范机构|中科院技术转移平台

先进制造

SE-3型太阳能电池刻蚀机

技术特点：
1.因钻蚀引起的硅片边缘损耗小（约1mm左右），有利于提高太阳能电池片的效率；
2.均匀性好，每批的一致性相当好；
3.刻蚀片量大，每次可以超过500片；
4.工艺过程自动控制。

主要指标：
1.平板式反应室系统1套，可放置125×125mm2以内的各种电池片500片；
2.射频电源1套，13.56 MHz，功率1000W，带正向功率和反射功率计指示，带自动匹配器；
3.西门子公司的可编程序控制器PLC 1套；
4.西门子公司的触摸屏1套，用于显示和工艺操作；
5.质量流量计2个；气路2路。

应用状况：
目前，它已成为太阳能电池和光电子领域科研和生产不可缺少的设备。