技术特点： ICP-98A型是一种刻蚀速率高、加工精度高、损伤小的新一代先进刻蚀机它由一组大功率的射频激励电源通过感应耦合在反应室内产生高密度等离子体，而由另一组功率较小的偏压电源引导离子垂直于被刻蚀物体运动，从而达到各向异性和高速低损伤刻蚀的目...

技术特点： 1.采用分子泵机组抽真空，真空度高，无油污染。 2. 具有三个靶座，可同时溅射两种金属，可形成多层复合膜或实现金属共溅射。 3. 片子可旋转，不仅可以提高均匀性，而且可以降低片子上的温度，特别适合于用剥离（lift-off）技术制备各种难腐蚀金属...

技术特点： 1.因钻蚀引起的硅片边缘损耗小（约1mm左右），有利于提高太阳能电池片的效率； 2.均匀性好，每批的一致性相当好； 3.刻蚀片量大，每次可以超过500片； 4.工艺过程自动控制。 主要指标： 1.平板式反应室系统1套，可放置125125mm2以内的各种电池片5...

技术特点： 1. 膜质量高。它不同于通常的翻盖式单室机（易漏大气而使淀积的薄膜质量不高），而是一种操作方便的双室系统。由于采用了特殊的反应室结构设计，在薄膜生长过程中反应室不存在漏大气的问题，因此生成的膜质量很高。例如，生长的SiNx薄膜抗氢氧化...

技术特点： 等离子体浸没离子注入技术是一项新的材料表面改性技术，其主要用于绝缘衬底上的硅（SOI）和超浅结（USL）的制造 。其与传统束线离子注入相比有设备简单、成本低；可同时实现大面积注入，掺杂效率高；可实现三维复杂结构工件掺杂；掺杂能量无理论...

项目介绍： 该系列检测设备主要有透镜中心仪、电视自准直仪、45比较测角仪、210比较测角仪、数显测微自准直仪、电视内调焦定心仪、中心偏测量仪、双坐标轴向测微显微镜、双向仪、大视场平行光管、高精度中心偏测量仪、1米平行光管等。 用途： 该系列检测设备...

项目概述： 本产品系列能够自动地严格按照一定的木材干燥工艺，控制干燥过程的平衡含水率、温度、干燥梯度和通风速度等干燥条件，快速、安全地降低木材中的水分，使木材得以高质、高效、经济地进行干燥处理。 研究所对木材常规蒸汽干燥技术和设备的研究开发...

项目简介： 研究团队进行了多年的研究，发明了氧化除氢热管技术。这项技术有效地克服了热管的钢水化学不相容现象，大大提高了钢水热管工作可靠性。热管的工作寿命比普通热管延长一至二倍。使用我们这项技术可以制出世界上工作寿命最长，性能最稳定的钢水热管...

技术特点： 蒸发冷却技术是一种全新的冷却技术，其特点是能显著提高电工装备的功率密度（小型轻量）、可靠性高、经济性好、冷却效果好（温度分布均匀、温升水平低）、效率高、噪音低、运行维护简便、适用面广等。 蒸发冷却技术的核心是采用绝缘性能好、不燃...

技术特点： 蒸发冷却技术采用了相变吸热的原理来冷却汽轮发电机、水轮发电机等各种电工装备，火力发电厂的汽轮发电机不需要使用氢气作为冷却介质，也不需要设置制氢站及漏氢检测仪器、补氢装置等。 主要进展： 七五期间承担并完成了国家重点攻关课题50兆瓦蒸...